【コリドー会員メルマガ】　「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内

2012年10月30日号

TOHOKUものづくりコリドーニュース

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　平成24年10月30日
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｎｏ．24-36

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　　 　「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内

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◇概要
　東北大学西澤潤一記念研究センター内の「試作コインランドリ」において、
　MEMSデバイス試作実習講座を開催いたします。
　本講座では、受講者自身がクリーンルーム内の作業を通して、MEMSデバイス
　の設計から試作・評価までの一連の流れを体験することで、MEMSデバイス開
発に必要なプロセスを体系的に習得できます。
　MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSデバイス製造プロセ
スの理解を深めたい方のご参加をお待ちしています。

◇日時：平成25年1月10日（木）、17日（木）、24日（木）、31日（木）、
　　　　2月7日（木）、14日（木）、21日（木）、28日（木）の13:00～18:00
　　　　（全8回）

◇会場：東北大学西澤潤一記念研究センター
　　　 〒980-0845　仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
　　　 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/

◇主催：仙台市

◇対象：仙台市内の企業技術者の方で、MEMS技術を活用した新製品開発を
　　　 考えている方や、MEMSデバイス製造プロセスの理解を深めたい方
　　　　（原則として、全日程を受講可能な方に限ります）

◇費用：無料

◇定員：5名

◇実習内容：①デバイス設計、②パターン設計、③マスク作製、
　　　　　　④洗浄とフォトリソブラフィー、⑤ICP-RIEエッチング、
⑥HFエッチングと構造体リリース、⑦ワイヤボンディング、
⑧評価
　　　　　　 ※各5時間ずつ

◇留意事項
　講座受講にあたっては、ノートパソコンが必要になりますので各自ご準備
ください。
また、施設使用にあたっては下記「東北大学試作コインランドリ使用細則」
を遵守いただきますようお願いいたします。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/Rules.pdf

◇参加申込：下記URLより参加申込書をダウンロードいただき、必要事項を
ご記入の上、平成24年12月5日（水）までに下記 あてにE-mailまたはFAX
にてお申込みください。
http://www.city.sendai.jp/keizai/sangaku/news/docs/shisakujisshuu.pdf

◇申込先：仙台市経済局産業創出部産学連携推進課　担当：和田
　　　　 〒980-0803　仙台市青葉区国分町3-6-1 仙台パークビル9階
　　　　 TEL：022-214-8245 FAX：022-214-8321
　　　　 E-mail：kei008060@city.sendai.jp