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【コリドー会員メルマガ】 「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内

2012年10月30日号

TOHOKUものづくりコリドーニュース

                          平成24年10月30日
                            No.24-36

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    「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内

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◇概要
 東北大学西澤潤一記念研究センター内の「試作コインランドリ」において、
 MEMSデバイス試作実習講座を開催いたします。
 本講座では、受講者自身がクリーンルーム内の作業を通して、MEMSデバイス
 の設計から試作・評価までの一連の流れを体験することで、MEMSデバイス開
発に必要なプロセスを体系的に習得できます。
 MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSデバイス製造プロセ
スの理解を深めたい方のご参加をお待ちしています。

◇日時:平成25年1月10日(木)、17日(木)、24日(木)、31日(木)、
    2月7日(木)、14日(木)、21日(木)、28日(木)の13:00~18:00
    (全8回)

◇会場:東北大学西澤潤一記念研究センター
    〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
    http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/

◇主催:仙台市

◇対象:仙台市内の企業技術者の方で、MEMS技術を活用した新製品開発を
    考えている方や、MEMSデバイス製造プロセスの理解を深めたい方
    (原則として、全日程を受講可能な方に限ります)

◇費用:無料

◇定員:5名

◇実習内容:①デバイス設計、②パターン設計、③マスク作製、
      ④洗浄とフォトリソブラフィー、⑤ICP-RIEエッチング、
⑥HFエッチングと構造体リリース、⑦ワイヤボンディング、
⑧評価
       ※各5時間ずつ

◇留意事項
 講座受講にあたっては、ノートパソコンが必要になりますので各自ご準備
ください。
また、施設使用にあたっては下記「東北大学試作コインランドリ使用細則」
を遵守いただきますようお願いいたします。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/Rules.pdf

◇参加申込:下記URLより参加申込書をダウンロードいただき、必要事項を
ご記入の上、平成24年12月5日(水)までに下記 あてにE-mailまたはFAX
にてお申込みください。
http://www.city.sendai.jp/keizai/sangaku/news/docs/shisakujisshuu.pdf

◇申込先:仙台市経済局産業創出部産学連携推進課 担当:和田
     〒980-0803 仙台市青葉区国分町3-6-1 仙台パークビル9階
     TEL:022-214-8245 FAX:022-214-8321
     E-mail:kei008060@city.sendai.jp


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