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【コリドー会員メルマガ】フロンティアプロセス研究会2010のご案内

2010年8月4日号

TOHOKUものづくりコリドーニュース
                      
平成22年 8月 4日
                        No.22-23


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   フロンティアプロセス研究会2010のご案内
 
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 フロンティアプロセス研究会は、プラズマ物理化学にベースを
置きながら、プラズマプロセスの最新動向を議論する場として
1998年に発足し、毎年各分野から第一線で活躍されている研究者を
招き研究動向について合宿形式開催しています。

 今回は、「オンウエハ・プラズマモニタリング技術と
アドバンストプロセスコントロール」というテーマでオープン
形式のワークショップとなっています。

 東北経済産業局では、今後大きな市場が見込まれるグリーン
デバイス関連産業(低消費・省エネルギー高機能デバイス及び製造
プロセス等も含む)の集積形成に向けた「グリーンデバイス関連
産業集積促進事業」活動を行うこととしております。

 その一環として半導体製造プロセスの可視化に視点をあて、
当ワークショップにおいてビジネス展開に向けたパネル
ディスカッションを以下のとおり開催し、これからの方向性を
考える場とし、今後に繋げたいと考えていますので、この機会に
ぜひご参加下さい。

開催日:平成22年8月20日(金)

会  場:ウェスティンホテル仙台・25階 雪

13:00 ご挨拶 OKIセミコンダクタ宮城株式会社
    取締役社長 松本 宗之 氏

13:10 富士フィルム株式会社 主任技師 沖川 満 氏 
固定撮像素子製造におけるプラズマプロセスとその制御

13:40 東京エレクトロン技術研究所株式会社
    取締役 野沢 俊久 氏
    プラズマプロセス装置における
    アドバンストプロセスコントロール

14:10 東北大学 教授 寒川 誠二 氏 
    オンウエハモニタリング技術によるプラズマ
    損傷の定量化と予測

14:40 みずほ情報総研株式会社
    シニアコンサルタント 岩崎 拓也 氏 
    オンウエハモニタリング技術と融合した
    形状予測シミュレーション

15:10 株式会社ジャパン・アドバンスト・ケミカルズ
    取締役 安原 重雄 氏 
    オンウエハモニタリングセンサー
    ビジネス市場の今後の展開

15:40 休憩

16:10 パネルディスカッション
   「プラズマプロセスにおけるオンウエハモニタリング
    技術の有効性=ビジネス展開に向けて=」

    モデレータ:富士フィルム株式会社 沖川 満氏
    パネリスト:講演者、株式会社デジタルネットワーク
          技術顧問 田中舘 寿一氏

    株式会社アドバンテスト 新企画商品開発室 甲元芳雄氏

    コメンテーター:東北経済産業局 課長 後藤 毅氏

18:00 懇親会

参加費:講演会無料
懇親会費:未定

定  員:50名

申込締切:8月13日

下記URL詳細をご確認ください。
http://san-cluster.icr-eq.co.jp/topics/data.php?id=121

申込方法:e-mailまたはFAXまたははがきにて、参加者氏名、住所、
  勤務先、TEL、FAX、e-mailを明記して下記まで申し込みください。

お問合せ:〒980-8577仙台市青葉区片平2-1-1
      東北大学・流体科学研究所・寒川研究室・伊藤寛子
      TEL/FAX:022-217-5240
      E-mail: hito@sammy.ifs.tohoku.ac.jp


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