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【コリドー会員メルマガ】「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内

2013年11月7日号

TOHOKUものづくりコリドーニュース

                           平成25年11月7日
                            No.25-32

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 「MEMSデバイス試作実習講座」受講者募集のご案内

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■概要
 東北大学西澤潤一記念研究センター内の「試作コインランドリ」において、
 MEMSデバイス試作実習講座を開催いたします。
 本講座では、受講者自身がクリーンルーム内の作業を通して、MEMSデバイス
 の設計から試作・評価までの一連の流れを体験することで、MEMSデバイス
 開発に必要なプロセスを体系的に習得できます。
 MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSデバイス製造プロセ
 スの理解を深めたい方のご参加をお待ちしています。

■日時
 平成26年1月9日(木)、16日(木)、23日(木)、30日(木)、
 2月6日(木)、13日(木)、20日(木)、27日(木)の13:00~18:00
(全8回)

■会場
 東北大学西澤潤一記念研究センター
 〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/

■主催
 仙台市

■対象
 仙台市内の企業技術者の方で、MEMS技術を活用した新製品開発を考えている
 方や、MEMSデバイス製造プロセスの理解を深めたい方
 (原則として、全日程を受講可能な方に限ります)

■費用
 実費負担(ただし、仙台市内企業に限り無料)

■定員
 5名

■実習内容
 1)デバイス設計、2)パターン設計、3)マスク作製、
4)洗浄とフォトリソブラフィー、5)ICP-RIEエッチング、
6)HFエッチングと構造体リリース、7)ワイヤボンディング、8)評価
 ※各5時間ずつ
 ※持ち込みの課題を試作することも可能です。実習内容の詳細については、
別途ご相談させていただきます。

■留意事項
 講座受講にあたっては、ノートパソコンが必要になりますので各自ご準備
 ください。
 また、施設使用にあたっては下記「東北大学試作コインランドリ使用細則」
 を遵守いただきますようお願いいたします。
 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/Rules.pdf

■参加申込
 下記URLより参加申込書をダウンロードいただき、必要事項をご記入の上、
 平成25年12月6日(金)までに下記宛にE-mailまたはFAXにてお申込み下さい。
http://www.city.sendai.jp/keizai/sangaku/news/index.html

■申込先
 仙台市経済局産業政策部産業振興課 担当:和田
 〒980-0803 仙台市青葉区国分町3-6-1 仙台パークビル9階
 TEL:022-214-8278 FAX:022-214-8321
 E-mail:kei008030@city.sendai.jp

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